Introduction

Heating Jacket 「加熱夾克」又稱為Mantle heater 「包覆式加熱器」，是用來維持半導體產業中所使用的真空管路、氣體管路中的溫度。
當氣體管路中的溫度維持於一定範圍內時，製程所產生的生成物將不易沉積或堵塞於管路中，因而可以減少機台的保養次數，同時可以延長相關設備的壽命。
Heating Jacket 在半導體製程中，扮演著不可或缺的角色，尤其在WCVD Process、Metal Etch Process、LP-CVD Nitride Process中，這種極容易產生化學生成物的製程中，更是需要Heating Jacket 來解決管路阻塞問題。

●零件成份

Layer	Function	Image	Material	Feature
Layer 1	保護加熱帶內部零組件 影響整體外觀表現。 不同環境建議使用不同材質。		PTFE Coated Cloth	請參考材質資料
			Long Fiber Cloth	請參考材質資料
Layer 2	保溫，減少熱流失。 隔熱，降低加熱帶表面溫度。 厚度與材質決定斷熱效果。 德易力標準厚度：10T		AIO Fiber	不含膠質及機質 刺激性較玻棉低 對人體健康影響小
			Glass Fiber	不含膠質及機質 刺激性 對人體健康影響大 不宜直接裸使用 熱傳導0.03 Kcal/mh
Layer 3	加熱線鋪設位置。 加熱線的材質與線徑與間距會直接影響加熱效率。 可依使用溫度與客戶需求使用不同加熱線鋪設方式。		Nickel Chrom 外覆玻纖維套 以手工方式鋪設耐熱布	依據每一平方 公分的尺寸與功率密度，鋪設線徑不同之加熱線。
			Nickel Chrome 以高壓淋膜鑄造於矽膠片中。	依據每一組節的尺寸與功率密度，鋪設線徑不同之加熱線。 加熱線間距較小，約為5mm。 因矽膠材質特性，每一平方公分之功率不可過大，否則會導致矽膠片過熱燒毀。
Layer 4	與真空管壁直接接觸。 保護電熱線。		Long Fiber Cloth	請參考材質資料

Material

加熱帶材質	特 性	耐熱溫度
Aluminum coated 耐熱鍍鋁布	不助燃性。 防水性。 材質柔軟，適形性佳 鍍層具金屬性，有金屬污染與導電疑慮。 長時間使用後，表層易產生皺摺或表層剝落現象。 製作成本與售價均較為便宜。 適用於對Particle要求較低的環境。	200度
Long Fiber Cloth 耐熱長纖布	1.   不助燃性。     2.   材質柔軟輕盈。     3.   適形性極佳。     4.  優越長纖布特性,無Particle，幾乎零污染。     5.   質感極佳，長時間使用後亦不容易改變外觀。     6.   製作成本與售價均較為昂貴。     7.   適用於對Particle要求嚴格的環境。	260度
PTFE Coated Cloth 耐熱鐵氟龍布	不助燃性。 材質強韌堅固。 耐磨與耐拉扯。 優越纖維特性，無Particle，幾乎零污染。 防水性與抗化學藥品性均佳。      製作成本與售價均較為昂貴。 使用壽命長。 適用於對Particle要求嚴格的環境。	290度
Silicone Rubber 矽膠發泡棉	1. 助燃性。 2. 模組化多層次組合 3. 發泡材質，長時間高溫使用極易硬化與粉化。 4. 保溫隔熱功能較差，使用時表面溫度偏高。 5. 使用壽命不長。 6. 適用於對Particle要求低的環境。	200度

加熱夾克材質比較表

Safety and Interlock

在Heating Jacket System裡，除了主體材質的選用非常重要之外，使用時的安全考量亦是非常重要的一環。本節內容將針對德易力的加熱帶安全性作一說明：

加熱帶系統的溫度控制主要是仰賴數位式P.I.D.溫控器來維持溫度的穩定性，因此，溫控器所具備的功能就顯的格外重要。我們的TEMP.CONTROLLER包含的安全功能有：

1. SSR：控制電流的輸出，避免輸出電流過大，造成設備損壞。
2. Alarm Signal：可設定超溫與低溫兩個警示數值，當溫度未達或超過時，Alarm 啟動。
3. NFB：具備漏電、過載、短路保護功能，當負載發生問題時，自動切斷電源。
4. Fuse：防護電流超過負載。
5. Buzzer：Alarm啟動時，Buzzer同時作動，以通知工程師前來處理。

電子產品總是有故障的可能，為了讓安全性更加提高，除了溫控器的各項安全裝置之外，我們在加熱帶主體另外加設了兩道安裝保護裝置，讓客戶使用時更加放心。

1. Thermal State：170 ℃ ± 15%，安裝於加熱帶主體內，當與溫控器連接的T/C掉落或損壞時，可達到溫度控制的功用。
2. Thermal Fuse：227 ℃-10A，當Temp. controller與Thermal state 都無法正常做動時，Thermal Fuse可保護加熱帶主體不被損壞。
3. Indicated Light：正常通電時，指示燈顯示「On」；斷電或短路時，指示燈顯示「Off」。如此可以簡單的辨識出哪一組節發生異常。
4. 電源線強力基座：預防電源線被強力拉扯導致斷路。
5. Water Proof Connector：不易鬆脫。具備防水功能，不易受水氣影響而故障。

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Advantage

• 材質多樣，可依據您的環境需要提供最合適的產品組合。
• 可以客戶需求增加或減少配備與功能，滿足您對預算的掌控。

• 所有材料均自國外進口，品質有保障。

• 自有工廠，隨時監控與調配生產進度，為業界交期最快之供應商。
• 不必等待漫長的運送與報關時間，您需要的加熱帶，可在台灣輕易取得。

• 台灣設計與加工，不必負擔進口關稅與其他不必要之花費。

• 不斷發展改良新的製作方法，讓客戶在不增加預算的前提下，也能夠取得精緻化的產品。

• 在客戶訂單確定後的空窗期間，可免費提供臨時替代用加熱帶，以確保生產線可正常運作。
• 具備專業的維修服務工程師，可隨時解答客戶的相關問題。
• 維修與製造工廠均位於台灣，可提供客戶快速的維修服務。